海归博士的“光刻胶”国产梦

工作人员在黄色光源工作环境中把光刻胶涂在硅片上

文图/孙树宝
　　“对于中国的光刻胶市场，大约92%的产品来自国外，国内生产的不足8%，我所努力的就是这8%之外的光刻胶生产。”海归博士孙逊运说。
　　光刻胶，又名光阻，是半导体芯片制造工业的核心材料，而芯片又是国防、航天、信息等多个领域的关键技术。
　　目前，国内企业对于光刻胶的需求多数依赖进口。为了打破国外对高端光刻胶的垄断，2010年，加拿大达尔豪西大学博士、美国密苏里大学博士后孙逊运回到山东潍坊高新区创立了潍坊星泰克微电子材料有限公司，致力于光刻胶的研发和生产。
　　光刻胶的实验和生产要求极为严格，仅是生产操作间就必须要达到百级净化标准，特殊工序甚至要求达到十级净化标准，为了避免感光还要求在黄色光源下进行。就是靠着这些严格的外在标准、细腻的思维和耐得住寂寞的潜心研究，孙逊运和他的创业团队已研究成功并申请注册了高硅光刻胶的5项专利技术。
　　2013年6月，该公司拥有自主知识产权的光刻胶进入量产阶段，首批投产的30加仑光刻胶投放市场，用于LED芯片的加工。这标志着将有5万片LED芯片会用上“中国芯”。（文图来源：新华社）

工作人员观察光刻胶前烘情况

孙逊运（左）与工作人员讨论光刻胶生产情况

孙逊运准备数据与工作人员一起讨论分析